Atomic Layer Deposition 原子層堆積技術について

その他ハードウエア

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1. QCM = Quartz Crystal Microbalance
どれくらい正確に膜厚が付いているかをリアルタイムで計測することが可能な「ALDセンサー」がドイツのINFICON 社より製品化されています。
ALD sensor
センサー部(電極)に膜がつくと、その重み(質量)で周波数(MHz)が減少します。この周波数の減少幅から膜厚を読み取ることが可能です。バルブが1回開く量だけのわずかな膜厚量の変動を正確に読み取れます。またINFICON社は120℃、240℃、285℃(Max 450℃)に最適化もしていて、かなり実用的なレベルまで落とし込んでいるようです。

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