Atomic Layer Deposition 原子層堆積技術について

その他ハードウエア

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1. QCM = Quartz Crystal Microbalance
ALD sensor
センサー部(電極)に膜がつくと、その重み(質量)で周波数(MHz)が減少します。この周波数(主に5MHzや6MHz)の減少幅から膜厚を読み取ることが可能です。オームストロング単位のわずかな膜厚量の変動でも正確に読み取れます。

問題としては温度に非常に敏感に周波数が変動します。
従来ある一定の温度しか膜厚モニターできなかったものが、米国Colnatec社/Phillip Tech社のQCM膜厚モニターと水晶振動子で20℃から500℃まで温度範囲でも可能になりました。

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