2017年真空・表面科学合同講演会 @横浜市立大学 金沢八景キャンパス(8月18日(金曜))
の合同シンポジウムのタイトルをメモしておきます。

「原子層堆積法(ALD)・原子層エッチング法(ALE)の最前線」

①霜垣幸浩(東大)「ALD/ALEプロセスの速度論的特徴と応用展開」
②熊野勝文・田中秀治(東北大)「研究開発向け多元材料ALD装置の開発」
③廣瀬文彦(山形大学)「室温原子層堆積法の開発とその応用」
④百瀬渉(ALDジャパン)「ALDの応用例ーペロブスカイト型太陽電池、粉体へのコーティング、バイオなど」
⑤町田英明(気相成長)「ALD原料ガスの開発」
⑥生田目俊英(物材機構)「熱ALD及びPE-ALD法で形成したHigh-k絶縁膜」

(敬称略)