英国 Hiden Analytical 社がALD用の分析機器として以下のような提案をしております。

1)残留ガス分析 HMT
2)プラズマALDの反応(イオン、ニュートラル、ラジカル)解析 EQP
3)組成、コンタミ、拡散、界面 AutoSIMS
4)真空プロセスでのガス分析 HPR-30ALD

日本代理店: イノベーションサインス株式会社

3)のSIMSが5千万円という値段はかなり安いように思います。