ASD = Area Selective Deposition 直訳:選択的成膜の WorkshopがIMECで開催されます。
日時: 2019年4月4日と5日
場所:IMEC (ベルギーのLeuven)

主に先端半導体の研究者が集まり、選択的かつアトミックスケールでの成膜の話が議論されます。ALEも議論されます。その理由が膜成長をさせたくないエリアにもサイクル数が増えるとわずかに膜などが付着してきます。それを除去するためにALEが使わるからです。

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昨年参加された大学の先生のお話では、日本の研究者はその方1名の参加だったそうです。