2016/10/31 / 最終更新日時 : 2016/12/01 ALD_Japan セミナー セミナー紹介「真空中での原子層成長」 タイトル：「真空中での原子層成長：ALD技術の最近の進捗」 日時：2016年１２月１４日（水曜）13:00 – 17:00 場所： 機械振興会館 地下2階B2-1号室 東京都港区芝公園3-5-8 主催： 日本真空学会 担当委員：（埼玉大）上野啓司，（富士通研）鈴木 僚，（NIMS）土佐正弘（敬称略） なお、僭越ながら弊社もアプリケーションなどの動向に関して発表させていただきます。
