はじめに。

半導体や液晶などの製膜技術として、PVD (Physical Vapor Deposition, 物理的気相成膜）やCVD (Chemical Vapor Deposition, 化学的気相成膜）が実際の生産ラインで使用されているし、研究開発も行われています。けれど比較的新しいALD (Atomic Layer Deposition、原子層堆積）の研究がそれほど日本では進んでおらず、サイトでも日本でまとまった情報を得るところがないので、このようなサイトを開設した次第です。

ここの管理人は研究者でもないのですが、もしこれからALDを勉強してみたい方がいて少しでも役に立つならば、これに勝る喜びはありません。

2014年4月吉日　管理人