コアシェルナノ粒子コーティング（室温）

山形大学廣瀬文彦先生のチームの論文がJVSTA (Journal of Vacuum Science & Technology)に取り上げられました。

概要
– 金のナノパーティクル（粒径：100nm)にALDでTiO2を室温でコーティング
– プリカーサー： ①TDMAT (Tetrakis(Dimethylamino) Titaniumと②プラズマをかけたH2O(水)
– TiO2膜厚： 35nm (130 サイクル)
– ナノパーティルは真空ポンプにより飛ばされてしまうため、静電気を利用してシリコン基板に固定させている
– 凝集もなし

ナノパーティクルをコアシェル、つまり２層構造（或いは３層以上も？）のナノパーティクルの作成方法が様々に検討されてきましたが、特に樹脂などの耐熱の低いナノパーティクルにもこの技術が利用でき、今後の展開がますます面白くなってくると思われます。