セミナー紹介「ドライエッチング:ドライエッチング技術の基礎とプラズマ・表面反応制御/ 最新動向とプラズマダメージ、アトミックレイヤーエッチング」

日立製作所社やラムリサーチ社でご活躍されていた野尻様がAtomic Layer Etchingも含めたドライエッチングに関するセミナーを2日間行います。

日時: 2019年3月14日(木曜) 13:00〜16:30
2019年3月15日(金曜) 9:30〜13:00

場所: 東京・大田区平和島 東京流通センター 2F  第1会議室

講師: ナノテクリサーチ 代表 野尻一男様

https://www.science-t.com/seminar/S190300.html