セミナー紹介「ALD(原子層堆積法),ALEt(原子層エッチング)の基礎・応用・最新動向」

日時: 2017年6月26日(月曜) 10:30〜16:30

場所: 東京・江東区産業会館 第1会議室

講師: 東京大学 大学院工学系研究科マテリアル工学専攻教授 霜垣 幸浩氏

https://www.rdsc.co.jp/seminar/170647