2016/02/11 / 最終更新日時 : 2016/02/11 ALD_Japan 未分類 セミナー紹介「ALD(原子層堆積法)の基礎と高品質膜化および最新動向」 日時: 2016年3月18日(金曜) 10:30〜16:30 場所: 東京 大田区産業プラザ 講師: 東京大学 大学院工学系研究科 マテリアル工学専攻 専攻長 教授 霜垣 幸浩先生 詳細情報: http://www.science-t.com/st/cont/id/25002