6月28日から国際学会「ALD2015」開催

毎年恒例のALD技術を討議する国際学会「ALD2015」が6月28日から7月1日の間、米国オレゴン州のポートランドで開催されます。

今年は原子レベルのレイヤーをエッチングする技術、ALE (Atomic Layer Etching) も特別枠でワークショップが設けられているようです。

日本からの出席者と発表論文は少ないでしょうが、多くのご参加があることを祈ってやみません。