2014/10/16 / 最終更新日時 : 2014/10/16 ALD_Japan 未分類 ALDで本当にサンドイッチ構造のレイヤーが形成されるのか? 答えは、そうであり、そうでもなく。 つまりきちんとレイヤーができるところと、そうでないところがあり、混合です。