ALD2015 の見どころ

ポスターセッションでの発表は記載しませんでしたが、Previewとして口頭発表の議題を材料やアプリケーションなどから列挙してみました。なぜ「?』マークだらけのこんな作業をしたかというと、ALDの代表的な酸化膜や金属膜はもちろん、それ以外にも多くの材料や技術が開発進展しており、それを知って頂きたかったからです。

いくつか個人的な視点から、興味深い事項をあげておこうと思います。

1)ペロブスカイト型太陽電池 ー ブロッキング層へのALDの有用性。
2)GaNの結晶成長・欠陥低減にALDがどこまで貢献できているのか?
3)燃料電池やリチウム電池などへのALDの研究の進展
4)量産技術の進展
5)MLD (= Molecular Layer Deposition) ー 原子の替わりに分子を1レイヤー毎に積み上げる技術
6)パーティクル(粒子)へのALDコーティング
7)先端半導体でのALDとALEの進展

以上です。