ctechnano社
2月15日nanotech2018展でALDに関して講演していたALD装置メーカーctechnano社 CEO Ms. Mercedes Vila Juarez, Ph.D よりカタログを頂戴しましたので、アップ致します。
強みは何ですか?と聞きましたら、ファイバー繊維へのALDコーティングを Vapor Phase Infiltrationと称して成膜することだとのことです。繊維に回り込むALDならでは利点を生かしているようです。(添付カタログの5と6ページに繊維とSEM像が出ております。)
なおこの会社はALDの論文を多数投稿しているDr. Mato Knez先生をアドバイザーに迎えているそうです。