2019/01/19 / 最終更新日時 : 2019/05/27 ALD_Japan 装置メーカー Oxford社とアルバック社 インターネプコン展(1月16日〜18日、東京ビッグサイト)で、Ulvac社が英国Oxford Instruments社のALDとALE装置の営業を開始したとの公表をしておりました。詳細ニュースはこちらから。