SEMICON ジャパン2015 – ALD関連情報

① CKD:高温用・高耐久ガスバルブ、AGD21R-Aシリーズ、150-200℃対応、3000万回開閉使用に堪えられるバルブ

② キッツエスシーティー:同じく高温・高耐久ガスバルブを開発品の発表。

③ 大成技研: ALD/CVD用の除害フィルター「TRAPPACK」