2016/01/28 / 最終更新日時 : 2016/01/29 ALD_Japan 未分類 Nanotech2016 ALD関連講演 2016年1月28日 下記の講演発表がありました。 ① Picosun社 300mm ウエハー用量産機、クラスターツール(反応室が5ユニットなど付き、その中心ニ搬送ロボットがウエハーを各室へ運ぶ又は取り出す装置群のこと […]