2018/07/29 / 最終更新日時 : 2018/07/29 ALD_Japan ALD 国際学会 ALE ALD2018 の投稿比率(国別) 本日2018年7月29日にTutorialからALD2018国際学会が始まりました。 配布されているプログラム予稿集に今回の発表者の内訳が出ていたので、転記します。 韓国:126 米国:106 中国(台湾含む):44 日 […]
2018/06/29 / 最終更新日時 : 2020/06/22 ALD_Japan セミナー セミナー紹介「ALD(原子層堆積法)の基礎・表面反応と高品質薄膜形成」 日時: 2018年7月20日(金曜) 13:00〜16:30 場所:東京・港区浜松町 芝エクセレントビル B1F KCDホール 講師: 山形大学 大学院理工学研究科 教授 博士(工学) 廣瀬 文彦 先生 https: […]
2018/06/29 / 最終更新日時 : 2018/06/29 ALD_Japan セミナー セミナー紹介「ALD(原子層堆積法)の基礎と応用」 東京大学霜垣先生がALDに関する基礎から応用までのセミナーを行います。 日時: 2018年7月12日(木曜) 10:30〜16:30 場所: 中央大学駿河台記念館 350号室 講師: 東京大学 大学院工学系研究科マテリア […]
2018/06/05 / 最終更新日時 : 2020/06/22 ALD_Japan セミナー セミナー紹介「ALDプロセスの基礎と応用展開」ALD用原料開発と最新情報 気相成長株式会社の代表取締役・博士(理学)町田英明様がALDのプロセス・原料に関するセミナーを行います。 日時: 2018年7月12日(木曜) 12:30〜16:30 場所: 東京・新宿区 新宿文化センター 講師: 気相 […]
2018/05/07 / 最終更新日時 : 2020/06/22 ALD_Japan セミナー シンポジウム紹介「アトミックレイヤープロセッシングの基礎と最新技術動向」 反応工学部会CVD反応分科会が主催されるALDのシンポジウムが開催されます。 日時: 2018年6月4日(月曜) 10:00〜17:50 場所: 東京大学 弥生キャンパス弥生講堂 一条ホール 講師 ①名古屋大学 堀勝先 […]
2018/04/21 / 最終更新日時 : 2020/03/19 ALD_Japan ALD 国際学会 ALE ASD18 Area Selective Deposition Workshop (ASD2018) が米国サウスカロライナ大学で4月29日より5月1日まで開催されます。 先端半導体のリソグラフィーでの機械的精度の問題を超える技術と […]
2018/04/21 / 最終更新日時 : 2018/07/28 ALD_Japan ALD 国際学会 ALE ALD/ALE2018 プログラム 国際学会 ALD/ALE2018 韓国仁川、2018年7月29日から8月1日 のプログラムが発表されました。 https://ald2018.avs.org/schedule/ 口頭発表の訳 (完了しております。誤字脱字 […]
2018/04/11 / 最終更新日時 : 2018/04/11 ALD_Japan セミナー ウェビナー(Webセミナー)紹介(英語)「Atomic Layer Etching」 American Vacuum Society (通称AVS)がALDに関してネットを使ったショートコースセミナーを開催されます。金額が$200と安いので、早朝(?)に強い方、学生さんにお勧めします。 日時: 2018年 […]
2018/03/22 / 最終更新日時 : 2021/02/09 ALD_Japan Know-How メタルALD 熱式ALDでPtやRuが成膜できることはよく知られておりますが、他のメタル成膜も可能です。Anric Technologies社では以下のような材料も成膜可能です。Anric Technologies社以外の装置でも可能 […]
2018/03/13 / 最終更新日時 : 2018/03/13 ALD_Japan 未分類 Kurt Lesker社のALD用特許 Kurt J. Lesker社が特許を取得したとの発表がありました。特許番号:9,695,510 キャリアガス(N2またはAr)を天板の端から投入し続けることで、天板の中心部から投入されたプリカーサーが周辺に回り込まない […]