2016/09/06 / 最終更新日時 : 2016/12/01 ALD_Japan セミナー セミナー紹介 「ドライエッチング技術…..」 6月に続き、再びドライエッチング技術のセミナー講演で、ALE = Atomic Layer Etchingが解説されます。 日時: 2016年10月5日(水曜) 10:30〜16:30 場所: 東京・品川区大井町 きゅり […]
2016/07/22 / 最終更新日時 : 2016/12/01 ALD_Japan ALD 国際学会 ALE ALD2016 プログラム – 用途と材料による分類 国際学会ALD2016のプログラムを用途と材料をピックアップしてみたいと思います。原題の翻訳となっているところも多々あります。あくまでALDの多様性を見るためのものですから、詳細の理解に不具合を含むことご承知おき下さい。 […]
2016/07/14 / 最終更新日時 : 2016/07/14 ALD_Japan 未分類 パウダーコーティング その4 パウダーコーティングで最後にご紹介したいのが、ダイナミックフロー方式です(勝手に命名しております)。この技術はオランダの大学Delft University of Technology Dr. Ir. J. Ruud v […]
2016/07/13 / 最終更新日時 : 2016/07/14 ALD_Japan 未分類 パウダーコーティング その3 Fluidization方式とドラム回転式がALDでのパウダー粒子へのコーティングとしては研究されてきましたが、別な方法も探索されています。2015年の国際学会「ALD2015」セッション「Manufacturing」で […]
2016/07/12 / 最終更新日時 : 2016/07/12 ALD_Japan 未分類 パウダーコーティング その2 今回はドラム回転方式のパウダーコーティングを解説します。PVDやCVDでも使用されているやり方で、回転する容器の中に入っているパウダーにプリカーサーのガスが投入されて、膜をつけていく方法です。 以下がその構成になります。 […]
2016/07/11 / 最終更新日時 : 2016/07/13 ALD_Japan 未分類 パウダーコーティング その1 今週は4回に渡って、ALDを使ってパウダーやナノ粒子への基本的コーティング技術を解説します。(注: パウダー用の実装置にほとんど携わっていないため、不適切な記述があるかもしれません。その際はご容赦ください。) 燃料電池の […]
2016/06/16 / 最終更新日時 : 2016/06/16 ALD_Japan 未分類 Siベース太陽電池の新技術 – PERC シリコンベース太陽電池用の新技術 PERC (Passivated Emitter Rear Contact)でALDによるAl2O3 の裏面パッシベーション成膜が利用されています。 産総研のDr. Supawan JO […]
2016/05/23 / 最終更新日時 : 2016/05/23 ALD_Japan 未分類 セミナー紹介 「ドライエッチング技術…..」 日時: 2016年6月15日(水曜) 10:30〜16:30 場所: 東京・品川区大井町 きゅりあん 4F 研修室 講師: ラムリサーチ(株) 取締役・CTO 野尻 一男 氏 http://www.science-t. […]
2016/05/18 / 最終更新日時 : 2016/05/19 ALD_Japan 未分類 7月24日から国際学会「ALD2016」開催 ALD技術を討議する国際学会「ALD2016」が今年は7月24日から7月27日までアイルランドのダブリンで開催されます。 昨年から始まったALE (Atomic Layer Etching) ワークショップも同時開催。 […]
2016/03/09 / 最終更新日時 : 2016/03/09 ALD_Japan 未分類 記事情報 水蒸気バリア性について 日経テクノロジーOnline(登録が必要です) 「評価は妥当か、有機デバイスの信頼性に効く水蒸気バリア性 (応用物理学会より)」 ALDがバリア性能改善に注目される技術との簡単な掲載。