2015/06/22 / 最終更新日時 : 2015/06/22 ALD_Japan 未分類 ALD2015 Preview その4 7月1日(3日目) 成膜材料 アプリケーション 備考 ——— ——————̵ […]
2015/06/22 / 最終更新日時 : 2015/06/22 ALD_Japan 未分類 ALD2015 Preview その3 6月30日(2日目) 成膜材料 アプリケーション 備考 ——— ——————R […]
2015/06/18 / 最終更新日時 : 2015/06/18 ALD_Japan 未分類 ALD2015 Preview その2 ALD2015のスケジュールは以下のサイトで確認できます。試しにタイトルだけから把握できるところで、材料とアプリケーションを軸に羅列し直してみました。(リアルタイム観察やシュミレーションの発表とポスター発表は除きます。) […]
2015/06/12 / 最終更新日時 : 2015/06/12 ALD_Japan 未分類 ALD2015 Preview その1 今回のALD2015国際学会で興味深そうな案件(主観です!)を列挙しておこうと思います。 ALE Workshop、つまりAtomic Layer Etchingという原子層をエッチング(除去)する技術の専門部会が設けら […]
2015/04/30 / 最終更新日時 : 2015/04/30 ALD_Japan 未分類 6月28日から国際学会「ALD2015」開催 毎年恒例のALD技術を討議する国際学会「ALD2015」が6月28日から7月1日の間、米国オレゴン州のポートランドで開催されます。 今年は原子レベルのレイヤーをエッチングする技術、ALE (Atomic Layer Et […]
2015/04/24 / 最終更新日時 : 2015/04/24 ALD_Japan 未分類 Spacial ALD (空間的ALD) – コスト低減化へ 前回からの続きで、低コスト化への解としてSpacial ALD と呼ばれる新たな潮流の技術について解説します。(Picosun社が半導体ベースの装置を改良して、ロール2ロール型の装置も改良しておりますが、それよりもっと低 […]
2015/02/27 / 最終更新日時 : 2015/02/27 ALD_Japan 未分類 ALDは高額な技術なのか? 現状この技術=装置と材料は高額なものです。過去簡易な装置でさえ1台3千万円を超えることもありました。だいぶ安くなってきましたが、まだまだのようです。 ですが、状況か変わりつつあります。 元々は半導体デバイスの成膜に開発さ […]
2015/01/22 / 最終更新日時 : 2015/01/22 ALD_Japan 未分類 ALDセミナー開催 東京大学霜垣先生による「ALD(原子層堆積法)の基礎および応用と展開」セミナーが2015年3月6日(金)に浜松町で実施されるようです。詳細はこちらから。 http://www.science-t.com/st/cont/ […]
2014/10/16 / 最終更新日時 : 2014/10/16 ALD_Japan 未分類 ALDで本当にサンドイッチ構造のレイヤーが形成されるのか? 答えは、そうであり、そうでもなく。 つまりきちんとレイヤーができるところと、そうでないところがあり、混合です。
2014/10/10 / 最終更新日時 : 2014/10/10 ALD_Japan 未分類 日本でALD技術が広まらなかった理由とは?(その2) 懇意にしている先生より、このサイトに関する意見を頂戴しました。以下意訳です。 日本でのALD普及が進まなかった理由として、PVDやCVDと異なりALDは非常に検討することが多く、アプリケーションの要求に合わせて開発しなけ […]