12月12日〜14日まで開催されたセミコンジャパンを訪問しました。ALDに関して新規性のあることを記載します。

1)Picosum 社
メディカル用途にB-300B PicoMEDICALtm と B-1000 PicoMEDICALtmの装置を投入。MEMSセンサー、医療用途の人工股関節やステント材へのコーティング技術として提案。

2)Holst Centre (オランダ)
ロール2ロールフレキシブル基板へのALDの技術の提供を行なっておりました。メーカーではなく、その技術を日本のユーザーに供与するものです。少し驚いたのはIZOの導電性膜がスパッタよりも高性能な膜が得られるとのことでした。またバリア膜も可能です。カタログ

3)キッツエスシーティー
バルブなど配管部品メーカーとして既に有名ですが、ALDプロセス用としてTDFシリーズバルブを開発完了し上市。耐熱 Max. 220℃で4000万回の動作保証(圧力0.25MPaの環境で)。(ただし試験レベルでは1億回も達成しているとのこと。)