セミナー紹介「プラズマダメージとアトミックレイヤーエッチング(ALE)」

日時: 2016年1月18日(水曜) 13:00〜16:30

場所: 東京・千代田区駿河台 連合会館  5F 502会議室

講師: ラムリサーチ(株) 取締役・CTO 野尻 一男 氏

http://www.science-t.com/st/cont/id/25960