セミナー紹介「ALD(原子層堆積法)の基礎と高品質膜化および最新動向」

東京大学霜垣先生がALDに関する基礎から応用までのセミナーを行います。

日時: 2018年3月30日(金曜) 10:30〜16:30

場所: 東京・大田区蒲田 大田区産業プラザ(PiO)  6F C会議室

講師: 東京大学 大学院工学系研究科マテリアル工学専攻教授 霜垣 幸浩氏

https://www.science-t.com/st/cont/id/28392

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