セミナー紹介「ALD(原子層堆積法)の基礎と高品質膜化および最新動向」
東京大学大学院の霜垣先生がALDに関するセミナーを行います。会場とオンラインの併設です。
日時: 2021年3月31日(木曜) 10:00〜17:00
場所: 東京・港区浜松町 ビジョンセンター浜松町 6F H室
講師: 東京大学大学院工学系研究科 マテリアル工学専攻 教授 霜垣幸浩 氏
東京大学大学院の霜垣先生がALDに関するセミナーを行います。会場とオンラインの併設です。
日時: 2021年3月31日(木曜) 10:00〜17:00
場所: 東京・港区浜松町 ビジョンセンター浜松町 6F H室
講師: 東京大学大学院工学系研究科 マテリアル工学専攻 教授 霜垣幸浩 氏