セミナー紹介「ALDプロセス(原子層堆積法)による薄膜合成」
山形大学教授の廣瀬氏がALDプロセスの薄膜合成に関するセミナーを行います。
日時: 2019年11月12日(火曜) 12:30〜16:30
場所: [東京・御茶ノ水]中央大学駿河台記念館
講師: 山形大学 大学院理工学研究科 教授 博士(工学) 廣瀬文彦氏
山形大学教授の廣瀬氏がALDプロセスの薄膜合成に関するセミナーを行います。
日時: 2019年11月12日(火曜) 12:30〜16:30
場所: [東京・御茶ノ水]中央大学駿河台記念館
講師: 山形大学 大学院理工学研究科 教授 博士(工学) 廣瀬文彦氏