セミナー紹介「ALD(原子層堆積法)」ALEt(原子層エッチング)の基礎・応用・最新動向
東京大学大学院の霜垣先生がALDとALEに関するセミナーを行います。
日時: 2019年11月26日(火曜) 10:00〜16:30
場所: 東京・亀戸 商工情報センター(カメリアプラザ)9F 研修室
講師: 東京大学大学院工学系研究科 マテリアル工学専攻 教授 霜垣幸浩 氏
東京大学大学院の霜垣先生がALDとALEに関するセミナーを行います。
日時: 2019年11月26日(火曜) 10:00〜16:30
場所: 東京・亀戸 商工情報センター(カメリアプラザ)9F 研修室
講師: 東京大学大学院工学系研究科 マテリアル工学専攻 教授 霜垣幸浩 氏