セミナー紹介「ALD(原子層堆積法)の基礎と応用」

東京大学大学院の霜垣先生がALDを中心にCVDとALEに関するセミナーを行います。

日時: 2020年1月21日(火曜) 10:30〜16:30

場所: ちよだプラットフォームスクウェア　地下１F　ミーティングルーム002

講師: 東京大学大学院工学系研究科 マテリアル工学専攻 教授　霜垣幸浩 氏

ALD(原子層堆積法)の基礎と応用(１日コース)