研究会紹介「CVD研究会」
オックスフォード・インストゥルメンツ社の伊藤氏がALDに関する発表「Atomic layer deposition (ALD) general overview and recent process activity」を行います。
日時: 2019年12月10日(火曜) 10:30〜11:20
場所: 名古屋大学 東山キャンパス ナショナル・イノベーション・コンプレックス (NIC)1階 Idea Stoa
講師: オックスフォード・インストゥルメンツ社 伊藤昌平氏