サムコ社ナノ薄膜開発センター

かねてからALD装置を開発製造してきたサムコ社が従来からあった基盤技術研究所を改変し、ALDとミストCVDをメインとするナノ薄膜開発センターを3月20日付けで立ち上げます。半導体や電子デバイス以外にも医療器具のコーティングなど新たな分野にも参入されるようです。詳細はこちらを。フィンランドのPicosun社などの後追いながら、CVDやエッチングの製造ノウハウを持つ中堅国内メーカーの積極的な展開は日本のユーザーには喜ばれるものと思われます。