セミコンジャパン2019

12月11日〜13日まで開催されたセミコンジャパンを訪問しました。新規な内容があまり目につくことのないというのが正直な感想ですが、ALDに関して目についたことを記載します。

バルブに関して
Swagelok社より大容量タイプのALDバルブが発表紹介されており、バッチ処理の装置への進展が進んでいることを感じました。またCKD社よりMax. 280℃に耐えられるバルブも出展されており、より高温のALDプロセスの需要も高まっているものと思われました。添付はCKD社様のご厚意により、撮られせ頂いたラインアップになります。

株式会社セルバック
新しくALD分野へ参入して来た装置メーカーのようです。
https://selvac.co.jp