セミナー紹介 「ドライエッチング技術…..」
日時: 2016年6月15日(水曜) 10:30〜16:30
場所: 東京・品川区大井町 きゅりあん 4F 研修室
講師: ラムリサーチ(株) 取締役・CTO 野尻 一男 氏
http://www.science-t.com/st/cont/id/25196
この中で、原子層エッチング (ALE, Atomic Layer Etching)について解説されます。
日時: 2016年6月15日(水曜) 10:30〜16:30
場所: 東京・品川区大井町 きゅりあん 4F 研修室
講師: ラムリサーチ(株) 取締役・CTO 野尻 一男 氏
http://www.science-t.com/st/cont/id/25196
この中で、原子層エッチング (ALE, Atomic Layer Etching)について解説されます。