セミナー紹介 「ドライエッチング技術…..」

日時: 2016年6月15日(水曜) 10:30〜16:30

場所: 東京・品川区大井町 きゅりあん  4F 研修室

講師: ラムリサーチ(株) 取締役・CTO 野尻 一男 氏

http://www.science-t.com/st/cont/id/25196

この中で、原子層エッチング (ALE, Atomic Layer Etching)について解説されます。