セミナー紹介「原子層堆積法（ALD）の原理，反応機構と製膜技術」

日時: 2017年9月25日(火曜) 10:00〜17:00

場所：五反田・技術情報協会セミナールーム

講師: 霜垣先生（東大），廣瀬先生（山形大），座間氏（アルバック）

http://www.gijutu.co.jp/doc/s_709403.htm