セミナー紹介「最先端プラズマプロセス：未来への挑戦」
東北大学寒川先生たちがプラズマに関して講演会を開催し、その中でALDなども取り上げられます。
日時: 2018年1月26日(金曜)〜27日（土曜） 1/26: 13:00〜16:50, 1/27: 9:30〜12:00
場所：東北大学流体科学研究所２号館５階大講義室
講師: AIST遠藤様、東北大学寒川先生、東京エレクトロン岩下様、防衛大学校北嶋先生、AIST笠嶋様、九州大学白谷先生、日本ASM野沢様、東北大学加藤先生、AIST布村様、名古屋大学鈴木先生
