セミナー紹介「ALD(原子層堆積法)の基礎と高品質膜化および最新動向」

日時: 2017年3月30日(木曜) 10:30〜16:30

場所: 東京・品川区大井町 きゅりあん  5F 第2講習室

講師: 東京大学 大学院工学系研究科マテリアル工学専攻教授 霜垣 幸浩氏

http://www.science-t.com/st/cont/id/26412