セミナー紹介「ALD(原子層堆積法)の基礎と高品質膜化および最新動向」
東京大学霜垣先生がALDに関する基礎から応用までのセミナーを行います。
日時: 2019年3月29日(金曜) 10:30〜16:30
場所: 東京・品川区大井町 きゅりあん 5F 第4講習室
講師: 東京大学 大学院工学系研究科マテリアル工学専攻教授 霜垣 幸浩氏
東京大学霜垣先生がALDに関する基礎から応用までのセミナーを行います。
日時: 2019年3月29日(金曜) 10:30〜16:30
場所: 東京・品川区大井町 きゅりあん 5F 第4講習室
講師: 東京大学 大学院工学系研究科マテリアル工学専攻教授 霜垣 幸浩氏