セミナー紹介「ALD(原子層堆積法)の基礎と高品質膜化および最新動向」


日時: 2016年3月18日(金曜) 10:30〜16:30

場所: 東京 大田区産業プラザ

講師: 東京大学 大学院工学系研究科 マテリアル工学専攻 専攻長 教授 霜垣 幸浩先生

詳細情報: http://www.science-t.com/st/cont/id/25002