パウダーコーティング　その２

今回はドラム回転方式のパウダーコーティングを解説します。PVDやCVDでも使用されているやり方で、回転する容器の中に入っているパウダーにプリカーサーのガスが投入されて、膜をつけていく方法です。
以下がその構成になります。

ここでもガスの取り回しは同じですが、パウダー粒子が入る容器が回転しているため常にパウダーが転がり続けて、表面に出てくるパウダーが異なる状態にしています。容器の中心付近をメインにガスが拡散して、パウダー粒子へのコーティングを行います。Step は共通で、例として Step ① TMA投入、②パージ、③酸化系プリカーサー投入、④パージとなります。

短所：　プロセスを走らせる度に、容器を交換しなければなりません。また凝集の問題を完全に回避できないこともあり、短時間では均一に成膜しづらい問題もありそうです。