メタルALD
熱式ALDでPtやRuが成膜できることはよく知られておりますが、他のメタル成膜も可能です。Anric Technologies社では以下のような材料も成膜可能です。Anric Technologies社以外の装置でも可能でも、コンサルタントを承っております。お問い合わせください。
（一部成膜できない熱式ALDもございます。）
Ni, Co, Pd, Au, Cu
熱式ALDでPtやRuが成膜できることはよく知られておりますが、他のメタル成膜も可能です。Anric Technologies社では以下のような材料も成膜可能です。Anric Technologies社以外の装置でも可能でも、コンサルタントを承っております。お問い合わせください。
（一部成膜できない熱式ALDもございます。）
Ni, Co, Pd, Au, Cu
