分子膜成膜装置 – MLD

SmartSensing2017展(2017年6月7日〜9日、@東京ビッグサイト)で、 SPPテクノロジーズ社が分子膜成膜装置”MVDシリーズ”を紹介されました。

http://www.spp-technologies.co.jp/news/1705-1.pdf

MVD (= Molecular Vapor Deposition)とは命名していますが、これはMLD (Molecular Layer Deposition)のことを指しているとの営業の方のお話でした。
大気にさらすのを嫌う膜への保護や、MEMSでの、犠牲層を除去し可動部を形成した後において、可動部同士の
固着(スティキング)防止膜としての使い方で、進展すると思われます。

注)犠牲層: 通常はレジストを使用しますが、エッチング液で溶ける有機膜です。
ステップ①犠牲層を形成します。②この犠牲層の上に低温でメタルを成膜します。③そのメタル層に貫通穴などを開けます。④、その貫通穴にエッチング用の溶液を流してレジストを溶かし、完成です。結果としてメタル層が浮いた状態で残ります。他のレイヤーのために後から取り除いてなくなるため、「犠牲」層と呼ばれます。