太陽電池へのALDの使用例

名古屋大学の黒川康良先生より論文を2つ頂きました。

① MRS
ナノワイヤーを使った太陽電池のご研究で、ナノワイヤーをALDのTiO2とAl2O3で被覆させております。MRS_Advances_掲載版

② WCPEC-7
結晶シリコン太陽電池用の電子選択層としてTiO2を成膜した事例です。WCPEC-7_Abst_Mochi

また産業技術総合研究所のMichael Lozach先生よりも以下の情報を頂きました。アモルファスシリコンをSiO2(正確にはSiOx:H )で被覆して効率を上げるものです。
https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0927024818302162