日本でALD技術が広まらなかった理由とは？

個人的な見解をいくつか挙げると、以下のようなことになるでしょうか。。。

１）PVDやCVDの技術を追い込みすぎて、1974年にフィンランドのSuntolaさんが製品化したこのALDに日本人研究者がついていかなかった？？
２）ALDは意外に不安定な装置だった？
３）廉価なALD装置がなかった？？

１）番に関して付け加えれば、今ある技術を極めることに忙しくて、新らに現れた技術への取り組みがおろそかになりやすいのかもしれません。