日本における代表的なALD 研究者

このALD技術の基本原理を研究している先生と言えば、東京大学の霜垣幸浩先生がまず第一。(先生のサイトは見つからず。)CVD反応分科会の代表でもあり、国際学会のALD2014のco-chair(共同代表)もされた。ALDのセミナーにも講師として招かれている。

もう一人の双璧をなす先生と言えば、東北大学の熊野勝文先生が挙げられる。「実学の東北」らしく、企業での経験があり実践的。プレカーサの容器、ALD バルブ、配管などなど、ALD装置の安定化のために様々な知見を有される。

その他にも多くの大学や研究機関の先生方や研究者達がALD装置を使用して、デバイス開発に取り組んでいる。