2016/03/09 / 最終更新日時 : 2016/03/09 ALD_Japan 未分類 記事情報 水蒸気バリア性について 日経テクノロジーOnline(登録が必要です) 「評価は妥当か、有機デバイスの信頼性に効く水蒸気バリア性 (応用物理学会より)」 ALDがバリア性能改善に注目される技術との簡単な掲載。