2017/11/30 / 最終更新日時 : 2017/11/30 ALD_Japan 未分類 記事紹介 ダイヤモンドデバイスMOSFET 金沢大学 准教授 徳田規夫氏 反転層型ダイヤモンドMOSFETの動作確認を世界で初めて実証された記事でALDについて言及されているので、ご紹介させて頂きます。 (日経テクノロジーon lineへの登録が必要です。)