ALD2017 (ALDALE2017)閉会

今年のALD学会が生協のうちに閉会しました。

参加者：＞900人
発表数：404件（うち61件がALE関連）

参加者の64％が産業界。

発表のエリア別比較

所感
人数が増えて、個別のセッションが４つに分かれてしまい、全部を網羅することはもはや不可能の状態です。ALDの研究ではある程度やり尽くしてしまったからか、半導体用のALEは立ち見も出るほど盛況でした。又Area-selective ALDもゲート長5nmなどの開発フェーズに突入してリソグラフィーでの重ね合わせがもはや限界のため、その代替技術としての期待からか人気のあるセッションでした。半導体が主たる議題であることに変わりませんが、他の応用範囲のリチウムイオン電池、太陽電池、燃料電池、触媒など興味深い話も散見され、応用への期待が高まっていると思います。

来年は韓国の仁川で6月17日から20日に開催予定です。