Kurt Lesker社のALD用特許

Kurt J. Lesker社が特許を取得したとの発表がありました。特許番号：9,695,510
キャリアガス(N2またはAr)を天板の端から投入し続けることで、天板の中心部から投入されたプリカーサーが周辺に回り込まないようにしたものです。効果は、チャンバー側壁に膜が堆積せずエリプソメーターなどが使用でき、プリカーサーの使用量も低減（膜が成長するエリアが55％減少）、パージ時間の短縮もできるというものです。（イラストはKurt J. Lesker社のホームページより転用させて頂きました。）