2014/09/04 / 最終更新日時 : 2014/09/04 ALD_Japan 未分類 日本でALD技術が広まらなかった理由とは? 個人的な見解をいくつか挙げると、以下のようなことになるでしょうか。。。 1)PVDやCVDの技術を追い込みすぎて、1974年にフィンランドのSuntolaさんが製品化したこのALDに日本人研究者がついていかなかった?? […]
2014/09/02 / 最終更新日時 : 2016/05/19 ALD_Japan 未分類 日本における代表的なALD 研究者 このALD技術の基本原理を研究している先生と言えば、東京大学の霜垣幸浩先生がまず第一。(先生のサイトは見つからず。)CVD反応分科会の代表でもあり、国際学会のALD2014のco-chair(共同代表)もされた。ALDの […]