2017/08/31 / 最終更新日時 : 2017/08/31 ALD_Japan 未分類 兵庫県立大学豊田紀章先生 ガスクラスターイオンビームによるALE 兵庫県立大学豊田紀章先生 イノベーション・ジャパン展にご出展されていた豊田先生の発表資料のアップロードをご許可いただいたので、添付します。 20170831 兵庫県立大学豊田紀章先生 ALE w GCIB
2017/08/19 / 最終更新日時 : 2017/08/19 ALD_Japan 未分類 真空学会・表面科学会の合同シンポジウム「原子層堆積法(ALD)・原子層エッチング法(ALE)の最前線」 2017年真空・表面科学合同講演会 @横浜市立大学 金沢八景キャンパス(8月18日(金曜)) の合同シンポジウムのタイトルをメモしておきます。 「原子層堆積法(ALD)・原子層エッチング法(ALE)の最前線」 ①霜垣幸浩 […]
2017/08/17 / 最終更新日時 : 2017/08/17 ALD_Japan 未分類 ALD用分析装置 – Hiden Analytical (英) 英国 Hiden Analytical 社がALD用の分析機器として以下のような提案をしております。 1)残留ガス分析 HMT 2)プラズマALDの反応(イオン、ニュートラル、ラジカル)解析 EQP 3)組成、コンタミ、 […]