2018/01/10 / 最終更新日時 : 2018/01/10 ALD_Japan 未分類 セミナー紹介「最先端プラズマプロセス:未来への挑戦」 東北大学寒川先生たちがプラズマに関して講演会を開催し、その中でALDなども取り上げられます。 日時: 2018年1月26日(金曜)〜27日(土曜) 1/26: 13:00〜16:50, 1/27: 9:30〜12:00 […]
2018/01/10 / 最終更新日時 : 2018/01/10 ALD_Japan 未分類 セミナー紹介「ドライエッチング技術の基礎と表面反応の制御 および最新技術動向とALE」 ラムリサーチの野尻様がセミナーをされます。 日時: 2018年1月31日(水曜) 10:00〜17:00 場所: 東京・品川区大井町 きゅりあん 6F 中会議室 講師: ラムリサーチ(株) 取締役・CTO 野尻 一男 氏