2017/04/05 / 最終更新日時 : 2017/04/05 ALD_Japan 未分類 山形大学廣瀬文彦先生のパウダー研究の例 2017年2月に行われたNanotech2017展で廣瀬先生が出展された応用ー蛍光体パウダーへのALD利用の例。
2017/02/05 / 最終更新日時 : 2017/02/05 ALD_Japan 未分類 セミナー紹介「ALD(原子層堆積法)の基礎と高品質膜化および最新動向」 日時: 2017年3月30日(木曜) 10:30〜16:30 場所: 東京・品川区大井町 きゅりあん 5F 第2講習室 講師: 東京大学 大学院工学系研究科マテリアル工学専攻教授 霜垣 幸浩氏 http://www.s […]
2017/02/04 / 最終更新日時 : 2017/02/04 ALD_Japan 未分類 コアシェルナノ粒子コーティング(室温) 山形大学廣瀬文彦先生のチームの論文がJVSTA (Journal of Vacuum Science & Technology)に取り上げられました。 概要 – 金のナノパーティクル(粒径:100nm […]
2017/01/24 / 最終更新日時 : 2017/01/24 ALD_Japan ALD 国際学会 ALE ALD2017国際学会 今年もALD2017国際学会(ALEのワークショップを併設)が米国コロラド州デンバーにて、7月15日から18日まで開催されます。 ペーパーの締め切りが2月17日とのこと。 今年日本企業では東京エレクトロン様がALEの方で […]
2017/01/24 / 最終更新日時 : 2017/01/24 ALD_Japan セミナー シンポジウム紹介「原子層堆積/原子層エッチングの基礎と応用」 またまた急で恐縮ですが、以下の内容で東京大学霜垣先生たちがシンポジウムを開催致します。 日時:2017年2月1日(水) 13:00~17:45 会場:東京大学 本郷キャンパス 工学部4号館3階41講義室(417号室) 第 […]
2017/01/23 / 最終更新日時 : 2017/01/24 ALD_Japan セミナー 講演会紹介:テーマ「新無機半導体材料と製膜方法」 急なお話になりますが、今週金曜日に東京大学の霜垣先生がALDの解説をされます。 日時: 2017年1月27日(金曜) 13:00〜16:40 場所: 東京・アイビーホール青学会館 〒150-0002 東京都渋谷区渋谷4- […]
2016/12/26 / 最終更新日時 : 2016/12/26 ALD_Japan 未分類 Lam Research – video しばらくぶりにYouTubeを散策していたら、Lam Research社の美しいビデオを見つけましたので記載します。 https://www.youtube.com/watch?v=4G8wXQGEBrA このビデオでは […]
2016/12/18 / 最終更新日時 : 2016/12/19 ALD_Japan 未分類 Semicon ジャパン2016 セミコンジャパン2016、12月14日から16日東京ビッグサイトで開催されました。ALD関連の展示について、記載します。(下記は私見であり、全てのブースを確認したわけでもありません。) A. 装置 ① JSWアフィティ社 […]
2016/12/01 / 最終更新日時 : 2016/12/01 ALD_Japan セミナー セミナー紹介「プラズマダメージとアトミックレイヤーエッチング(ALE)」 日時: 2016年1月18日(水曜) 13:00〜16:30 場所: 東京・千代田区駿河台 連合会館 5F 502会議室 講師: ラムリサーチ(株) 取締役・CTO 野尻 一男 氏 http://www.science […]
2016/10/31 / 最終更新日時 : 2016/12/01 ALD_Japan セミナー セミナー紹介「真空中での原子層成長」 タイトル:「真空中での原子層成長:ALD技術の最近の進捗」 日時:2016年12月14日(水曜)13:00 – 17:00 場所: 機械振興会館 地下2階B2-1号室 東京都港区芝公園3-5-8 主催: 日本 […]